另一个电容式MEMS加速度传感器固有的问题是在受到巨大冲击的时候，其整体结构会发生微小的形变，但也足以导致一颗完成校准的器件的零点输出发生漂移，进而导致校准失效。
相比之下，热式MEMS加速度传感器可以起到类似前级低通滤波器的作用，极大的降低震动和冲击对其的影响。
美新’ MXC6244AU 3x3x1.2mm (L x W x H) – 抗震动，高可靠性
美新的MXC6244AU传感器的带带宽为10Hz/-3db的带宽且信号处理电路具有二级滤波功能，能够提供出色的低通滤波响应。因此，其本身就可以提供非常出色的倾角测量精度而无须占用过多的处理器计算能力。
电容式MEMS加速度传感器通常需要两颗芯片，一颗传感器芯片和一颗信号处理芯片。通常来说，传感器芯片的面积比信号处理芯片大非常多。热式MEMS加速度传感器将传感器和信号处理芯片整合在同一颗芯片上，因此实现更小的尺寸和更高可靠性的解决方案。
因为美新MEMS传感器没有移动部件，所以有很强的抗冲击力和稳定性。
电容式MEMS加速度传感器具有低功耗的优点，比较适用于那些要求严格控制功耗的应用场景。热式MEMS传感器的功耗通常为3毫瓦而电容式的功耗仅为其的1/10。这主要是热式传感器需要消耗一定的能量，在其内部对气体进行加热，产生温度场来测量加速度。电容式MEMS加速度传感器也适用于那些要求高频率(>100Hz)和高g值得应用，例如，防撞气囊在汽车碰撞开启。其较宽的带宽，较高的频率和加速度的这些特性更好的满足了该类应用的需求。
集合了单芯片集成技术和非可移动结构部件这个优点的热式MEMS传感器使其在高强度震动环境能够提供较高的可靠性和较精确的测量结果。基于热式MEMS技术的美新产品MXC6244AU不受共振，震动影响，没有温度迟滞效应，能够经受50000g的冲击，零点输出稳定，所有这些优点成就了非常高的可靠性。
所以热式MEMS加速度传感器更适用于在高强度环境中对低g值(<10g)及和低频率(<30Hz)的加速度进行测量。
总的来说，热式MEMS加速度传感器是非常适合于在高强度震动环境中测量倾角。其天然的低通滤波和不受共振影响的特性使其能够在电容式MEMS加速度传感器无法进行测量的应用中仍然提供精确的倾角测量结果。其独有的单芯片集成技术以及无须可动结构的设计使其在特定的环境中能够提供行业最高等级的可靠性。