2016年是五年来首度出现所有种类传感器与致动器都呈现成长的情况，IC Insights认为其部分原因是价格下滑趋缓。在出货量方面，2016传感器与致动器出货量总计为203亿颗、成长17%，创下新高纪录。
在2016年传感器与致动器市场有82%左右的营收来自各种装置运用的MEMS组件，包括压力传感器、MEMS麦克风，以及利用MEMS打造转换器(transducer)结构、以启动物理反应的加速/偏转运动传感器以及致动器。以出货量来看，MEMS组件占据整体传感器/致动器2016年出货量的48%，约98亿颗。