智能传感器的关键技术
智能传感器在硬件制造方面的关键技术主要有：
● 智能传感器模块中各芯片的设计技术。设计必须满足小型化、低成本、低功耗、抗干扰、灵活性要求，利用Ansys和MSC.Patran、MSC.Marc、MSC.Fatigue软件进行芯片设计和仿真。需建立数学模型、线路设计、可靠性设计等工作。
● 智能传感器的制备工艺技术。需突破MEMS工艺与集成电路IC工艺的相容性技术，智能传感器的小型化封装技术，智能传感器规模化生产技术等。
● 智能传感器的可靠性技术。目前国产传感器最大问题是产品可靠性不高，直接影响传感器应用，可靠性性设计、可靠性试验、可靠性筛选、可靠性管理这些技术问题必须贯穿产品制备始终。
● 智能传感器接口技术，特别是与外部网络的接口。